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| 等離子體制備納米晶相氮化硅粉體的研究 |
| 來源:沈陽農(nóng)業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào) 更新時(shí)間:2013-06-06 09:17:06 瀏覽次數(shù): |
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華南農(nóng)業(yè)大學(xué)聯(lián)合華南師范大學(xué),通過感應(yīng)耦合等離子體技術(shù)產(chǎn)生塵埃等離子體,采用四氫化硅(SiH4)和氮?dú)猓∟2)為反應(yīng)氣體,氣相沉積制備出氮化硅(Si3N4)納米粉體材料。塵埃等離子體技術(shù)制備的納米Si3N4粉體材料為球形,均勻分布在20nm,并且具有β- Si3N4晶相。該方法實(shí)現(xiàn)了在非高溫的條件下,通過添加β- Si3N4籽晶來增韌氮化硅陶瓷的目的,大大提高了氮化硅材料的彈性模量和燒結(jié)后的強(qiáng)度和韌度。
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