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技術(shù)進展
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高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工藝研究
來源：機電工程    更新時間：2013-06-06 09:23:14    瀏覽次數(shù)：
 
        浙江工業(yè)大學(xué)特種裝備制造與先進加工技術(shù)教育部/浙江省重點實驗室和江蘇智邦精工科技有限公司為解決高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的問題，將超精密研磨技術(shù)應(yīng)用到氮化硅陶瓷球的加工實驗中。開展了研磨過程的分析，建立了不同研磨階段陶瓷球球度、表面質(zhì)量及材料去除率與所選不同大小粒度磨料之間的關(guān)系，并提出了對比分析的方法，在通過專業(yè)設(shè)備檢測的基礎(chǔ)上對成品球球度、表面粗糙度和振動值進行了評價。研究結(jié)果表明，氮化硅陶瓷球能夠批量生產(chǎn)且球度達到0.062μm以下，表面粗糙度達到1.48 nm以下，振動值達到24 dB以下，實現(xiàn)了批量生產(chǎn)G3級氮化硅陶瓷球的目的。
 
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