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技術(shù)進(jìn)展
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石英塊體表面制備氮化硅層的研究
來源：硅酸鹽通報    更新時間：2013-06-13 21:39:53    瀏覽次數(shù)：
 
        桂林理工大學(xué)徐卓等以高純Si粉或Si3N4粉為反應(yīng)原料,分別以SiO2粉、MgO粉、CaO粉,或者自制玻璃粉為粘結(jié)劑,按不同質(zhì)量百分比與PVA飽和溶液混合,分層涂抹在石英塊體表面。在N2氣氛中,于1500℃高溫氮化燒結(jié)180min,在石英塊體表面制備氮化硅層。XRD與EDS圖譜的分析結(jié)果表明,以SiO2粉、MgO粉、CaO粉為粘結(jié)劑,產(chǎn)物層物相為氮化硅或氧氮化硅,產(chǎn)物層致密且有一定厚度和強度,但是產(chǎn)物層和石英塊體的結(jié)合性差；以自制玻璃粉為粘結(jié)劑的實驗結(jié)果表明:產(chǎn)物層主要物相為氮化硅,產(chǎn)物層有一定厚度和強度,而且與石英塊體的結(jié)合性較好。
 
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