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技術(shù)進展
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金屬硅的酸洗和氧化提純
來源：廈門大學(xué)學(xué)報    更新時間：2013-06-14 13:46:16    瀏覽次數(shù)：
 
        廈門大學(xué)龐愛鎖等為了降低金屬硅酸洗的后續(xù)工藝難度, 在成熟的常溫酸洗技術(shù)的基礎(chǔ)上加上濕氧氧化新技術(shù)對金屬硅進行提純。酸洗主要作用是去除大部分裸露在金屬硅顆粒表面的金屬雜質(zhì)；而濕氧氧化后, 使顆粒內(nèi)部分凝系數(shù)( 在硅和二氧化硅系統(tǒng)中的分凝系數(shù)) 較小的硼在高溫下擴散進入二氧化硅中, 再腐蝕去除氧化層和其中的雜質(zhì)。實驗表明該方法對硼雜質(zhì)有明顯的提純作用,提純后,硼雜質(zhì)的含量最低為4×10-6。兩種技術(shù)在工藝上兼容,在提純目標上互補,是非常有效的低能耗和低成本的提純方法。
 
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