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產(chǎn)業(yè)新聞
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25張圖直觀看懂從石英砂到芯片全過程!
來源:中國粉體技術(shù)網(wǎng)    更新時間:2019-09-11 17:23:54    瀏覽次數(shù):
 
  現(xiàn)代生活中,人們已被各種電子設(shè)備圍繞,手機、電腦、電視……那么,這些電子設(shè)備是靠什么運作的呢?
  答案就是芯片!簡單來說,芯片之于電子設(shè)備的地位等同于發(fā)動機之于汽車,而制備芯片的原材料,就是最普通不過的石英砂。下面,我們就來看一看,石英砂是怎么變成芯片的?
  1.石英砂
  硅是地殼內(nèi)第二豐富的元素,而脫氧后的沙子(尤其是石英)最多包含25%的硅元素,以二氧化硅(SiO2)的形式存在,這也是半導體制造產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。

 
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  2.硅熔煉
  12英寸/300毫米晶圓級,通過多步凈化得到可用于半導體知道質(zhì)量的硅,學名電子級硅(EGS),平均每一百萬個硅原子中最多只有一個雜質(zhì)原子。下圖展示的是如何通過硅凈化熔煉得到大晶體的,最后得到的就是硅錠(ingot)。


 
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  3.單晶硅錠
  整體基本呈圓柱形,重約100千克,硅純度 99.9999%。

 
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  4.硅錠切割
  橫向切割成圓形的單個硅片,也就是我們常說的晶圓 (Wafer)。順便說,這下知道為什么晶圓都是圓形的了吧?

 
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  5.晶圓
  切割出的是晶圓經(jīng)過拋光后變得幾乎完美無瑕,表面甚至可以當鏡子。事實上,intel自己并不生產(chǎn)這種晶圓,而是從第三方半導體企業(yè)那里直接購買成品,然后利用直接的生產(chǎn)線進一步加工,比如現(xiàn)在主流的45nm HKMG(高K金屬柵極)。值得一提的是,intel公司創(chuàng)立之初使用的晶圓尺寸只有2英寸/50毫米。

 
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  6.光刻膠(Photo Resist)
  下圖中藍色部分就是在晶圓旋轉(zhuǎn)過程中澆上去的光刻膠液體,類似制作傳統(tǒng)膠片的那種。晶圓旋轉(zhuǎn)可以讓光刻膠鋪的非常薄、非常平。

 
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  光刻一:光刻膠層隨后透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下,變得可溶,期間發(fā)生的化學反應(yīng)類似按下機械相機快門那一刻膠片的變化。掩模上印著預(yù) 先設(shè)計好的電路圖案,紫外線透過它照在光刻膠層上,就會形成微處理器的每一層電路圖案。一般來說,在晶圓上得到的電路圖案是掩模上圖案的四分之一。

 
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  光刻二:由此進入納米尺寸的晶體管級別。一塊晶圓上可以切割出數(shù)百個處理器,不過從這里開始把視野縮小到其中一個上,展示如何制作晶體管等部件。晶體管相當于開關(guān),控制著電流的方向?,F(xiàn)在的晶體管已經(jīng)如此之小,一個針頭上就能放下大約3000萬個。

 
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  7.溶解光刻膠
  光刻過程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致。

 
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  8.蝕刻
  使用化學物質(zhì)溶解掉暴露出來的晶圓部分,而剩下的光刻膠保護著不應(yīng)該蝕刻的部分。

 
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  9.清除光刻膠
  蝕刻完成后,光刻膠的使命宣告完成,全部清除后就可以看到設(shè)計好的電路圖案。

 
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  10.光刻膠
  再次澆上光刻膠(藍色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻膠還是用來保護不會離子注入的那部分材料。

 
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  11.離子注入(ion implantation)
  在真空系統(tǒng)中,用經(jīng)過加速的,要摻雜的院子的離子照射(注入)固體材料,從而在被注入的區(qū)域形成特殊的注入層,并改變這些區(qū)域的硅的導電性。經(jīng)過電場加速后,注入的離子流的速度可以超過30萬千米每小時。

 
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  12.清除光刻膠
  離子注入完成后,光刻膠也被清除,而注入?yún)^(qū)域(綠色部分)也已摻雜,注入了不同的原子。注意這時候的綠色和之前已經(jīng)有所不同。

 
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  13.晶體管就緒
  至此,晶體管已經(jīng)基本完成。在絕緣材(品紅色)上蝕刻出三個孔洞,并填充銅,以便和其它晶體管互連。

 
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  14.電鍍
  在晶圓上電鍍一層硫酸銅,將銅離子沉淀到晶體管上。銅離子會從正極走向負極。

 
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  15.銅層
  電鍍完成后,銅離子沉積在晶圓表面,形成一個薄薄的銅層。

 
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  16.拋光
  將多余的銅拋光掉,也就是磨光晶圓表面。

 
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  17.金屬層
  晶體管級別,留個晶體管的組合,大約500納米。在不同晶體管之間形成復(fù)合互連金屬層,具體布局取決于相應(yīng)處理器所需要的不同功能性。芯片表面看起來異常平滑,但事實上可能包含20多層復(fù)雜的電路,放大之后可以看到極其復(fù)雜的電路網(wǎng)絡(luò),形如未來派的多層高速公路系統(tǒng)。

 
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  18.晶圓測試
  內(nèi)核級別,大約10毫米/0.5英寸。圖中是晶圓的局部,正在接受第一次功能性測試,使用參考電路圖案和每一塊芯片進行對比。

 
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  19.晶圓切片(Slicing)
  晶圓級別,300毫米/12英寸。將晶圓切割成塊,每一塊就是一個處理器的內(nèi)核(Die)。

 
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  20.丟棄瑕疵內(nèi)核
  晶圓級別。測試過程中發(fā)現(xiàn)的有瑕疵的內(nèi)核被拋棄,留下完好的準備進入下一步。

 
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  21.單個內(nèi)核
  內(nèi)核級別。從晶圓上切割下來的單個內(nèi)核,這里展示的是Core i7的核心。

 
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  22.封裝
  封裝級別,20毫米/1英寸。襯底、內(nèi)核、散熱片堆疊在一起,就形成了我們看到的處理器的樣子。襯底相當于一個底座,并為處理器內(nèi)核提供電氣與機械界面,便于與PC系統(tǒng)的其它部分交互。散熱片就是負責內(nèi)核散熱的了。

 
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  23.處理器
  至此就得到完整的處理器了(這里是一顆Core i7)。這種在世界上最干凈的房間里制造出來的最復(fù)雜的產(chǎn)品實際上是經(jīng)過數(shù)百個步驟得來的,這里只是展示了其中的一些關(guān)鍵步驟。

 
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  24.等級測試
  最后一次測試,可以鑒別出每一顆處理器的關(guān)鍵特性,比如最高頻率、功耗、發(fā)熱量等,并決定處理器的等級,比如適合做成最高端的Core i7-975 Extreme,還是低端型號Core i7-920。

 
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  25.裝箱
  根據(jù)等級測試結(jié)果將同樣級別的處理器放在一起裝運。制造、測試完畢的處理器要么批量交付給OEM廠商,要么放在包裝盒里進入零售市場。

 
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