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技術進展
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基于聚焦離子束的氮化硅納米孔的制備和表征
來源：生物物理學報    更新時間：2013-06-30 19:10:17    瀏覽次數：
 
        南京郵電大學和東南大學武靈芝等以氮化硅絕緣材料為基底,采用微加工技術設計和制備了自支撐氮化硅懸空膜結構,然后利用聚焦離子束刻蝕懸空膜。通過優(yōu)化聚焦離子束的系統(tǒng)參數,得到一系列孔徑和錐度可控的納米孔。通過掃描電鏡和電學信號顯示,該納米孔具有很好的表面特性和伏安特性。當加入DNA分子時,電流瞬時下降,得到一系列明顯、穩(wěn)定的阻塞信號。說明該方法制備的納米孔穩(wěn)定可靠,可以用于不同生物分子的檢測和分析。


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