1、引言
基于硅資源深加工的硅材料產(chǎn)業(yè)(以下簡(jiǎn)稱硅材料產(chǎn)業(yè))是全球性的朝陽(yáng)產(chǎn)業(yè)和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),發(fā)展勢(shì)頭迅猛,全球60萬(wàn)家硅企業(yè)生產(chǎn)的約80億美元的硅材料,支撐起了2230億美元的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè),進(jìn)一步支撐起數(shù)以萬(wàn)億美元計(jì)的電子、計(jì)算機(jī)、通信等信息產(chǎn)業(yè),全球超過(guò)2000億美元的電子通信半導(dǎo)體市場(chǎng)中,95%以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制作,集成電路的99%以上用硅制作。硅原料和硅制品的產(chǎn)品貿(mào)易額達(dá)到5000億美元以上,全球硅業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)及學(xué)術(shù)團(tuán)體1000多個(gè),行業(yè)組織300多個(gè)。
當(dāng)前,各國(guó)政府高度重視硅材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,如美國(guó)、日本、德國(guó)、歐盟均制定了諸如21世紀(jì)國(guó)家納米綱要、光電子計(jì)劃、太陽(yáng)能電池(光伏)發(fā)電計(jì)劃、下一代照明光源計(jì)劃等新材料、新產(chǎn)業(yè)規(guī)劃。我國(guó)政府也高度重視硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,先后采取各種措施鼓勵(lì)、扶持硅材料產(chǎn)業(yè)規(guī)劃與建設(shè)。

2、國(guó)內(nèi)外硅材料產(chǎn)業(yè)調(diào)研與分析
2.1工業(yè)硅
工業(yè)硅及深加工產(chǎn)業(yè)是目前國(guó)際上的硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心,主要集中在晶體硅材料(單晶硅、多晶硅、硅外延片)和有機(jī)硅材料以及石英晶體元器件等方面的生產(chǎn)和研究。
(1)多晶硅
多晶硅材料生產(chǎn)在產(chǎn)業(yè)鏈中處于高端,市場(chǎng)需求旺盛,產(chǎn)品供不應(yīng)求。主要用于半導(dǎo)體芯片及太陽(yáng)能、電池芯片、金屬陶瓷、宇宙航行、光導(dǎo)纖維通信以及硅有機(jī)化合物。生產(chǎn)技術(shù)掌握在日本Tokuyama、三菱、住友、美國(guó)的Hemlock、Asimi、SGS、MEMC公司,德國(guó)的Wacker公司手中。國(guó)際上多種生產(chǎn)工藝路線并存,產(chǎn)業(yè)化技術(shù)相互封鎖和壟斷。主要有改良西門子法、硅烷法和流化床法,其中西門子改良法約占世界總產(chǎn)能的80%。短期內(nèi)技術(shù)壟斷的局面不會(huì)改變,但研發(fā)活躍,涌現(xiàn)出冶金法、熔融析出法等新工藝技術(shù)。
我國(guó)多晶硅質(zhì)量已能滿足集成電路用單晶的要求,但多晶硅核心技術(shù)三氯氫硅還原法被上述國(guó)外企業(yè)壟斷,核心技術(shù)工藝沒(méi)有完全掌握,尚不能完全滿足高阻區(qū)熔硅要求。與國(guó)際先進(jìn)水平相比,生產(chǎn)成本明顯偏高(見(jiàn)表1-1),市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力不強(qiáng)。我國(guó)60%以上的的多晶硅材料仍需進(jìn)口。
表1-1 國(guó)內(nèi)外多晶硅消耗指標(biāo)對(duì)比表(以1kg多晶硅計(jì))

(2)單晶硅
單晶硅是電子信息材料中最具基礎(chǔ)性的半導(dǎo)體類材料。廣泛用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防科技中各個(gè)領(lǐng)域,如太陽(yáng)能電能轉(zhuǎn)化、電視、電腦、冰箱、電話、手機(jī)、汽車及航天飛機(jī)、宇宙飛船、人造衛(wèi)星等。隨著集成電路的迅猛發(fā)展,對(duì)單晶硅的直徑要求越來(lái)越大,關(guān)鍵設(shè)備—單晶爐也不斷向大型化發(fā)展。單晶硅拉制技術(shù)和工藝是世界上晶體硅工業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。我國(guó)依托日本合資企業(yè),已能夠穩(wěn)定生產(chǎn)200mm集成電路級(jí)和212mm(8.5英寸)的太陽(yáng)能光伏電池級(jí)的硅單晶,產(chǎn)量占世界21%。但尚不能生產(chǎn)最先進(jìn)的300mm(12英寸)的硅單晶。
(3)有機(jī)硅
有機(jī)硅是指含si-c鍵的有機(jī)硅化合物,主要分為單體、中間體和下游產(chǎn)品。單體主要指甲基、苯基、乙烯基氯硅烷等原料。中間體主要指線狀或環(huán)狀體的硅氧烷低聚物,如六甲基二硅氧烷(MM)、八甲基環(huán)四硅氧烷(D4)、二甲基環(huán)硅氧烷混合物(DMC)等。下游產(chǎn)品則是指中間體通過(guò)聚合反應(yīng),并添加無(wú)機(jī)填料或改性助劑制得,主要有硅橡膠、硅油及二次加工品、硅樹(shù)脂及硅烷偶聯(lián)劑四大類。作為新型高科技材料,有機(jī)硅應(yīng)用于航空、軍事、建筑、電子電氣、紡織、汽車、機(jī)械、皮革造紙、化工輕工、金屬和油漆、醫(yī)藥醫(yī)療等各個(gè)領(lǐng)域,被譽(yù)為“工業(yè)味精”。
美國(guó)道康寧等5大有機(jī)硅公司占據(jù)了全球96%的市場(chǎng)。目前市場(chǎng)發(fā)展的動(dòng)力最主要在亞洲,我國(guó)市場(chǎng)規(guī)模占亞洲的近一半。中國(guó)藍(lán)星集團(tuán)通過(guò)海外并購(gòu)成為全球第四大有機(jī)硅企業(yè)。但我國(guó)單體生產(chǎn)技術(shù)落后,同時(shí)存在品種少、水平低、質(zhì)量差,產(chǎn)量低的狀況。有機(jī)硅下游產(chǎn)品有5000多種,我國(guó)僅500多種;實(shí)際產(chǎn)量?jī)H占國(guó)內(nèi)需求的20%;產(chǎn)品結(jié)構(gòu)上,硅油、硅樹(shù)脂在加工助劑等市場(chǎng)的應(yīng)用有待發(fā)掘。
2.2 半導(dǎo)體硅
半導(dǎo)體硅材料包括多晶硅、單晶硅、硅外延片以及非晶硅、澆注多晶硅等。在集成電路(IC)、硅光電池、傳感器、射線探測(cè)器、整流器等各類電子元件中占有極為重要的地位,是“微電子”和“現(xiàn)代化電子”的代名詞。目前,半導(dǎo)體硅和硅基材料向大直徑化、新加工處理工藝以及深亞微米乃至納米集成電路發(fā)展方向發(fā)展。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是世界經(jīng)濟(jì)升級(jí)的心臟,I nt el、I BM、太陽(yáng)微、德州儀器等執(zhí)半導(dǎo)體牛耳,走到了世界技術(shù)發(fā)展的最前沿。日、德控制的硅片公司占世界硅片銷量的90%以上。其中信越(Sh in—Etsu)、瓦克(Wacker)、住友(Sumitomo)等四家的銷售額占世界硅片銷售額的近70%。
我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已形成了設(shè)計(jì)、芯片制造及封裝并舉的全面發(fā)展格局。在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中所占份額由1.2%提高到3.7%,發(fā)展勢(shì)頭迅猛。
但在半導(dǎo)體硅晶體材料方面,我國(guó)高純度多晶硅、SOI材料(絕緣體用硅)、某些化合物半導(dǎo)體材料等與世界水平仍有一定差距。
2.3 光伏硅
隨著世界各國(guó)特別是歐美發(fā)達(dá)國(guó)家清潔能源政策的實(shí)施,光伏市場(chǎng)年均增長(zhǎng)速度超過(guò)30%,僅2000-2010年,世界光伏電池產(chǎn)量增長(zhǎng)了17倍,至今仍在快速增長(zhǎng)。光伏產(chǎn)業(yè)鏈上游是Hemlock、Wacker、Tokuyama、R EC、MEMC、Misubishi 和Sumitomo等7家多晶硅廠商,產(chǎn)量占到全球總產(chǎn)量的95%以上,壟斷全球多晶硅供應(yīng);中游是22家硅片(Wafer)廠商,包括RWE Schott Solar、Sharp、Q-cells、BP Solar、DeutscheSolar、Kyocera 等,技術(shù)難度僅次于多晶硅;其次是太陽(yáng)能電池(Cell)制造,全球有40余家;下游則是組件生產(chǎn),全球數(shù)量超過(guò)200家,技術(shù)含量相對(duì)較低,屬于勞動(dòng)力密集型產(chǎn)業(yè)。
我國(guó)已成為世界第一光伏出口大國(guó)。近年來(lái),我國(guó)部分企業(yè)已基本掌握了多晶硅材料的生產(chǎn)工藝,已滿足我國(guó)50%光伏產(chǎn)品生產(chǎn)需要。光伏生產(chǎn)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化能力也迅速提高。但裝備技術(shù)和高純多晶硅和高端硅產(chǎn)品原材料技術(shù)尚未真正掌握,成為當(dāng)前我國(guó)太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)和微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的共同瓶頸。表現(xiàn)在現(xiàn)實(shí)層面就是我國(guó)光伏出口的主要形式是電池組件等下游產(chǎn)品,高附加值的技術(shù)出口較少。然而,國(guó)際多晶硅大公司的技術(shù)先進(jìn)性又是很有限度的,其落后點(diǎn)、薄弱點(diǎn)是為我所知的,并可成為我們破解他們技術(shù)壟斷的切入點(diǎn)和突破點(diǎn)。
2.4 人造石英晶體(石英晶體元器件)
人造石英晶體是重要的電子功能材料,信息領(lǐng)域中的重點(diǎn)基礎(chǔ)材料之一。隨著手機(jī)、筆記本電腦、數(shù)碼相機(jī)、汽車及網(wǎng)絡(luò)等應(yīng)用產(chǎn)品市場(chǎng)的飛速發(fā)展,石英晶體元器件的市場(chǎng)需求日益增長(zhǎng),其中SMD晶體元器件成為主流產(chǎn)品。
日本在石英晶體元器件占有很大優(yōu)勢(shì)。其主要晶體廠商基本將其成熟產(chǎn)品遷到我國(guó)生產(chǎn),使我國(guó)成為世界上主要的晶體生產(chǎn)國(guó)之一,壓電晶體產(chǎn)業(yè)有了較大的發(fā)展。但我國(guó)工藝裝備相當(dāng)于國(guó)外20世紀(jì)80-90年代水平;國(guó)內(nèi)對(duì)壓電水晶的缺陷控制仍處于宏觀控制階段(國(guó)外已進(jìn)入微觀階段);國(guó)外壓電水晶產(chǎn)品以直徑76mm-100mm為主,而國(guó)內(nèi)以50mm為主,不能滿足信息產(chǎn)品需求。在技術(shù)水平、硬件基礎(chǔ)、品種系列、資金投入等方面均有待提高。
人工晶體材料將進(jìn)入分子剪裁與設(shè)計(jì)階段,可以對(duì)壓電性能定量計(jì)算,對(duì)材料功能基因裁減設(shè)計(jì)。石英元器件朝輕薄短小、高頻、網(wǎng)路化等方向發(fā)展。隨著我國(guó)移動(dòng)通訊巨大市場(chǎng)的形成和手機(jī)國(guó)產(chǎn)化步伐的加快,我國(guó)對(duì)石英晶體產(chǎn)生的SAW(聲表面波)器件和SMD(聲體波)器件的需求迅速增長(zhǎng),市場(chǎng)前景良好,我國(guó)在新產(chǎn)業(yè)面前面臨機(jī)遇和挑戰(zhàn)。
2.5 石英玻璃
石英玻璃是屬于新材料的工業(yè)技術(shù)玻璃。廣泛用于光源、電子、光通訊、儀表、激光、航天、核技術(shù)和國(guó)防等領(lǐng)域。
石英玻璃生產(chǎn)集中在美、德、法、日、英等國(guó)幾家跨國(guó)公司手中。我國(guó)石英玻璃行業(yè)歷經(jīng)1989-2000年的引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)、技術(shù)創(chuàng)新、增加品種和產(chǎn)量的大發(fā)展時(shí)期,石英玻璃器材的加工技術(shù)已達(dá)到世界先進(jìn)水平。目前,國(guó)內(nèi)石英玻璃原料及產(chǎn)品制造應(yīng)用領(lǐng)域正向半導(dǎo)體和光通訊行業(yè)集中,半導(dǎo)體技術(shù)和光通訊技術(shù)用石英玻璃生產(chǎn)技術(shù)提高很快。如立式擴(kuò)散用石英儀器、大口徑石英玻璃管、不透明石英玻璃管等已達(dá)國(guó)際水平,并大量出口。電光源和家電用的石英玻璃在產(chǎn)量上,已在世界上占主導(dǎo)地位。
但也存在亟待解決的問(wèn)題:石英原料提純技術(shù)水平較低,產(chǎn)品純度比國(guó)外差,F(xiàn)e、K、Na等元素含量比國(guó)外高幾倍,相應(yīng)產(chǎn)品的羥基含量比國(guó)外高出5-6倍;高精度石英光纖玻璃管、大規(guī)格石英擴(kuò)散管、硅片匣、石英鐘罩、托盤等高新技術(shù)產(chǎn)品,但國(guó)內(nèi)石英玻璃制品尚不能滿足。
2.6 新型電光源
作為硅材料產(chǎn)業(yè)鏈的延伸,將電光源用石英玻璃與電光源工業(yè)相結(jié)合起來(lái)是個(gè)非常好的發(fā)展思路。照明產(chǎn)品是國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和人民生活的必需品,我國(guó)基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、城市亮化工程、工商企業(yè)、日常生活等對(duì)照明產(chǎn)品的數(shù)量和質(zhì)量的需求都日益增長(zhǎng),尤其是對(duì)環(huán)保節(jié)能高效型的新型電光源需求旺盛,市場(chǎng)前景廣闊。
電光源產(chǎn)品歷經(jīng)白熾燈、熒光燈、金屬鹵化物燈三代。目前,以半導(dǎo)體發(fā)光為光源(LED)的第四代新型電光源時(shí)代已經(jīng)到來(lái),其特點(diǎn)是節(jié)能和環(huán)保。如:石英玻璃汽車HID燈亮度是鹵素?zé)舻?倍、功耗僅為50%、壽命則是十倍。以高檔投影燈、液晶監(jiān)視器冷陰極燈管、汽車用HID燈、LED照明為代表。
國(guó)際上新型電光源翹楚為飛利浦(荷),愛(ài)普生(日)、優(yōu)志旺(日),歐司朗(德)、奇異(美)等公司。我國(guó)電光源行業(yè)依托優(yōu)質(zhì)石英資源和較好的石英玻璃管加工能力已形成優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)集群,能夠生產(chǎn)新型汽車燈、節(jié)能環(huán)保燈、金屬鹵化物燈、背投電視用放電燈、氣體放電燈等30多個(gè)系列幾百種產(chǎn)品,產(chǎn)品在遠(yuǎn)銷歐美、日韓、東南亞,銷售前景良好,發(fā)展?jié)摿薮?。但存在種類多但缺乏國(guó)際知名品牌,新型電光源產(chǎn)品品種較少的問(wèn)題。
2.7 硅微粉
硅微粉由天然石英或熔融石英經(jīng)破碎、球磨(或振動(dòng)、氣流磨)、浮選、酸洗提純、高純水處理等工藝加工而成。分為普通、電工級(jí)、電子級(jí)、熔融石英、超細(xì)、納米等不同類型。其應(yīng)用領(lǐng)域由電路封裝、塑料、涂料、橡膠、顏料、陶瓷、膠粘劑、玻璃鋼、化妝品等已拓展到高分子復(fù)合材料、特種陶瓷、航空、航天、精細(xì)化工、抗菌材料、藥物載體、大面積電子基板等高新技術(shù)領(lǐng)域,享有“材料科學(xué)的原點(diǎn)”、“工業(yè)味精”之美譽(yù),發(fā)展前景十分廣闊。
當(dāng)前,只有美、德、日、俄、加、中等少數(shù)國(guó)家具備硅微粉生產(chǎn)能力。美國(guó)處于領(lǐng)先水平,以通用、尤尼明公司為代表。我國(guó)石英儲(chǔ)量豐富,但高純、超高純、超細(xì)硅微粉仍處于起步階段。長(zhǎng)期以來(lái),我國(guó)高新技術(shù)中使用的高純超細(xì)熔融球形硅微粉全部從美、日進(jìn)口。國(guó)外對(duì)球形硅微粉生產(chǎn)技術(shù)和專用裝備嚴(yán)加封鎖,直接威脅著我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展與國(guó)家信息安全保障。
碳化硅微粉用于冶金、磨料、磨具、耐火材料等,在機(jī)械、電子、建材等行業(yè)需求量很大,我國(guó)尚無(wú)碳化硅標(biāo)準(zhǔn)。碳化硅晶體作為信息功能材料與器件,是第三代(高溫寬帶隙)半導(dǎo)體材料的代表,極有可能觸發(fā)新的信息技術(shù)革命。在半導(dǎo)體器件的應(yīng)用方面,碳化硅打破了硅芯片材料本身性能的瓶頸,有可能取代硅作芯片,給電子業(yè)帶來(lái)革命性變革。目前主要應(yīng)用領(lǐng)域有LED固體照明和高頻率器件。美國(guó)Cree公司的碳化硅晶片產(chǎn)量為30萬(wàn)片,占世界85%,是全球碳化硅晶片行業(yè)的先行者。我國(guó)已著手利用自身在硅資源和加工技術(shù)方面的優(yōu)勢(shì),破解國(guó)外碳化硅生產(chǎn)企業(yè)對(duì)中國(guó)實(shí)行的禁運(yùn),培育碳化硅晶體產(chǎn)業(yè)??紤]密切關(guān)注其進(jìn)展,擇機(jī)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化介入。
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