高純石英砂采用高品位的石英石(SiO2含量大于99.80%)經(jīng)過選礦、顎碎、煅燒、水淬、錘破對輥破、篩分、磁選色選、酸洗、浮選、濕篩分、水洗、固液分離、烤砂、強磁選等工藝生產(chǎn)而成。
高純度石英砂產(chǎn)品從中低端到高端一般應(yīng)用路徑為光源行業(yè)(99.5%~99.99%)、高端光學(xué)器件、激光器件(99.99%以上)、到光纖通信、半導(dǎo)體、光伏、微電子等領(lǐng)域(99.995~99.9999%)。
近年來,隨著我國電子信息產(chǎn)業(yè)、電光源產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展、光伏產(chǎn)業(yè)的爆發(fā)式增長,石英制品行業(yè)工業(yè)總產(chǎn)值保持較快增長。
在半導(dǎo)體領(lǐng)域中,石英是不可或缺的原料。幾乎所有工序從生產(chǎn)輔助部件到用于實際硅片加工的工具都或多或少的使用著石英制品。石英坩堝用于制造單晶硅環(huán)節(jié),石英玻璃鐘罩用于光刻工程,石英管制作的石英舟和石英支架可以用于IC外延、擴散和光刻工程等。半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展將帶動上游高純石英材料的需求增長。
在光纖通信領(lǐng)域,高純石英玻璃產(chǎn)品是光纖生產(chǎn)過程中的重要材料。廣泛應(yīng)用于光纖預(yù)制棒制成和光纖拉絲工藝中,其中芯棒的純度要求最高(大于5N)。光纖半導(dǎo)體市場對石英材料的純凈度、規(guī)格精度、質(zhì)量穩(wěn)定性要求高,國內(nèi)大部分石英制品生產(chǎn)企業(yè)不具備生產(chǎn)高純石英砂及電子級石英制品的能力,因此,目前國內(nèi)光纖半導(dǎo)體廠商仍以向國外企業(yè)進口石英制品為主。國際知名石英企業(yè)——賀利氏、邁圖、信越石英等占據(jù)了中國大部分光纖半導(dǎo)體應(yīng)用市場。光纖芯棒以及套管的制造原材料主要由尤尼明壟斷。目前光纖預(yù)制棒石英套管產(chǎn)品主要依賴進口,進口光纖石英套管成本較高,國產(chǎn)替代需求強烈。
目前,國家已經(jīng)制定了多項石英行業(yè)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn)。例如對于光伏高純石英砂要求,具有一定透明度的白色顆粒,無異色;石英砂的粒徑應(yīng)在70~350μm范圍內(nèi),且在該粒徑范圍的累積質(zhì)量分?jǐn)?shù)應(yīng)大于或等于90%。粒徑小于100μm或大于300μm的累積質(zhì)量分?jǐn)?shù)均應(yīng)小于1%。二氧化硅含量應(yīng)大于或等于99.99%,灼燒失量應(yīng)小于或等于0.01%;雜質(zhì)元素含量應(yīng)小于或等于25μg/g,其中鉀、鋰、鈉含量總和小于2.5μg/g等具體指標(biāo)。
Harben根據(jù)商業(yè)石英產(chǎn)品的純度,將加工后的石英按雜質(zhì)總量的多少進行分類,在該分類方案中,將雜質(zhì)元素總量低于50μg/g的石英定義為高檔石英材料,包括高純石英(雜質(zhì)元素總量:8~50μg/g)、極高純石英(雜質(zhì)元素總量:1~8μg/g)和超純石英(雜質(zhì)元素總量<1μg/g)。其中,后兩者在自然界中匱乏或無,需要用純度較高的天然石英原料進行加工合成。
Müller等在研究挪威不同地區(qū)的藍晶石石英巖時,嘗試根據(jù)石英中Al和Ti的含量來判斷自然產(chǎn)出的石英能否作為高純石英。通常Al和Ti在石英中的元素含量較高,通過簡單的提純工藝很難將其除去,而精細(xì)的提純會增加生產(chǎn)成本,因此石英中的Al和Ti的含量是制約石英純度的主要因素。據(jù)此,當(dāng)石英中的Al和Ti的含量分別小于25ug/g和10μg/g的天然石英,可以歸結(jié)為為高純石英范疇。

值得注意的是,Harben對石英的劃分是基于商業(yè)石英產(chǎn)品的,難以適用于天然產(chǎn)出的石英。同時,石英中的雜質(zhì)元素有多種,每種雜質(zhì)元素在石英中的含量和對提純加工的影響不盡相同,因此有必要考慮主要雜質(zhì)元素含量的上限,而不單純的設(shè)置總量上限。Müller等提出的標(biāo)準(zhǔn)雖然可以適用于天然石英,并且主要考慮了Al和Ti含量的影響,但沒能充分考慮其他雜質(zhì)元素。
基于上述原因以及石英研究的進步,Müller等對評判標(biāo)準(zhǔn)進行了修正。修正方案主要考察了石英中主要的9種有害元素的含量,包括Na、K、Li、Al、Ca、Fe、Ti、B和P,每種雜質(zhì)元素含量允許的上限分別為Al<30μg/g、Ti<10μg/g、Na<8μg/g、K<8μg/g、Li<5μg/g、Ca<5μg/g、Fe<3μg/g、P<2μg/g和B<1μg/g,同時這些元素的總量不能超過50μg/g,這樣的石英才能夠作為高純石英。Müller等的評價方案不僅適用于天然的石英,還適用于加工后的石英產(chǎn)品,具有更廣的適用性。另外,Müller等指出,石英的微量元素可通過原位分析測試得到,如EPMA、LAICP-MS或SIMS,這是為了避免受到外來礦物和包裹體的影響。理論上,原位分析測試得到的結(jié)果是晶格雜質(zhì)元素含量和亞顯微包裹體元素含量的疊加,如果原位分析顯示出石英的雜質(zhì)元素含量過高,那么天然石英提純成高純石英的潛力相對較小。
目前,可實現(xiàn)的規(guī)模化生產(chǎn)的最高的純度可以達到99.999%(5N)以上。其產(chǎn)品的價格與純度關(guān)聯(lián)緊密,低端產(chǎn)品二氧化硅含量為99.5~99.99%(2~4N),價格在600~800元每噸左右。中端產(chǎn)品的純度在99.995~9.999%(4~5N)之間。產(chǎn)品價格約為30000元每噸左右。而高端的5N以上的高純石英砂價格在60000元每噸,且市場供不應(yīng)求。
資料來源:《楊曉勇,孫超,曹荊亞,施建斌.高純石英的研究進展及發(fā)展趨勢[J].地學(xué)前緣:2021》,由【粉體技術(shù)網(wǎng)】編輯整理,轉(zhuǎn)載請注明出處!
更多精彩!歡迎掃描下方二維碼關(guān)注中國粉體技術(shù)網(wǎng)官方微信(粉體技術(shù)網(wǎng))
|