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技術進展
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雜質元素對高純石英產(chǎn)品質量有何影響?
來源:中國粉體技術網(wǎng)    更新時間:2022-08-09 15:36:47    瀏覽次數(shù):
 
  石英中主要的雜質元素有Al、Fe、Ca、Mg、Li、Na、K、Ti、B、H,雜質元素對高純石英產(chǎn)品的質量影響很大,堿金屬、過渡金屬、Al及P等元素含量是高純石英原料的關鍵指標。雜質元素的含量要求根據(jù)制備的石英玻璃用途不同而不同,但總的趨勢是越低越好。
  
雜質元素對高純石英產(chǎn)品質量有何影響?   
  
  (1)堿金屬元素Li、K、Na
  
  降低石英玻璃的使用溫度和機械強度,在高溫下對石英玻璃的析晶起催化作用,導致石英玻璃出現(xiàn)失透、高溫變形等現(xiàn)象。降低堿金屬元素的含量有利于提高高純石英坩堝的軟化點,增強石英坩堝的抗變形性,提高單晶的成品率。
  
  IOTA標準砂要求堿金屬元素總和2.4×10-6,用于工藝管、硅片處理、石英塊、提單晶硅用的半導體坩堝所需高純石英要求其總和<1.4×10-6,CZ型坩堝要求其總和<0.5×10-6,而用于12英寸或更大尺寸硅片所需超高純石英砂要求其總和<0.08×10-6。
  
  (2)過渡金屬元素Cr、Cu、Fe
  
  使石英玻璃產(chǎn)生色斑或引起石英玻璃的高溫變色,影響光透過率,降低儀器的可靠性和穩(wěn)定性能,在光纖應用中,會引起微觀不均勻、增加光纖損耗,甚至導致信號失真,但在半導體應用中,產(chǎn)品中微小含量的過渡金屬元素可以促進結晶生長。
  
  (3)Al和P
  進入石英晶格,會產(chǎn)生較強的化學鍵,影響石英制品的導電性,同時,增強了石英玻璃的析晶作用,降低了使用壽命。少量的Al不會影響到高純石英產(chǎn)品的質量,IOTA標準砂要求Al元素含量(12~18)×10-6,但光導纖維中微量的Al便會降低石英玻璃的光傳導。P元素的存在會嚴重影響單晶硅的拉制,故高純石英坩堝對P要求高,要求P元素含量<0.04×10-6。
  
  資料來源:《張海啟,馬亞夢,譚秀民,等.高純石英中雜質特征及深度化學提純技術研究進展[J].礦產(chǎn)保護與利用:2022》,由【粉體技術網(wǎng)】編輯整理,轉載請注明出處!
  
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