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性能測試
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掃描電子顯微鏡的儀器組成
來源：中國粉體技術(shù)網(wǎng)    更新時間：2013-09-11 09:02:56    瀏覽次數(shù)：
 
（中國粉體技術(shù)網(wǎng)/三水）掃描電子顯微鏡分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡、熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡、環(huán)境掃描電子顯微鏡等不同類型。圖1為JSM-6700F型場發(fā)射掃描電鏡的全景圖。
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圖1  JSM-6700F場發(fā)射掃描電鏡
掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成（如圖2）。
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圖2  掃描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)示意圖
        1、電子光學(xué)系統(tǒng)
        由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成（圖3）。電子光學(xué)系統(tǒng)的作用是獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
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圖3  掃描電子顯微鏡電子光學(xué)系統(tǒng)組成示意圖
        2、信號收集及顯示系統(tǒng)
        作用是檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體、光導(dǎo)管和光電倍增器組成（如圖4）。
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圖4  掃描電子顯微鏡信號收集及顯示系統(tǒng)示意圖
        3、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)
        真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，提供高的真空度，一般情況下要求保持10-4～10-5Torr的真空度。電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
 
 
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