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| 掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)和試樣制備 |
| 來源：中國粉體技術(shù)網(wǎng) 更新時間：2013-09-12 08:24:30 瀏覽次數(shù)： |
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（中國粉體技術(shù)網(wǎng)/三水）一、掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)
1、制樣方法簡單。
對于金屬等導(dǎo)電試樣，在電鏡樣品許可的情況下可以直接進(jìn)行觀察分析；對于高分子材料等不導(dǎo)電的試樣需要表面噴射或濺射一層金屬薄膜即可觀察其表面形貌。
2、景深長、視野大。
其景深三百倍于光學(xué)顯微鏡，且比透射電鏡高一個數(shù)量級，可直接觀察各種如拉伸、擠壓、彎曲等粗糙表面、斷口形貌以及松散的粉體試樣，圖像富有立體感真實(shí)感、易于識別和解釋。
3、有效放大倍數(shù)高。
一般為10-200000倍，一旦聚焦后，可以任意改變放大倍率，無需重新聚焦。
4、分辨本領(lǐng)大。其分辨率可達(dá)1nm以下。
5、電子損傷小。
掃描電鏡的電子束直徑一般為三至幾十納米，強(qiáng)度約為10-11-10-9mA，電子束的能量較透射電鏡的小，加速電壓可以小到0.5kV，并且電子束作用在試樣上是動態(tài)掃描，并不固定，因此對試樣的電子損傷小，污染輕。
6、實(shí)現(xiàn)綜合分析。
掃描電鏡可以同時組裝其他觀察儀器，如配有波譜儀、能譜儀等，可實(shí)現(xiàn)觀察形貌的同時進(jìn)行微區(qū)成分分析；配有光學(xué)顯微鏡和單色儀等附件時，可觀察陰極熒光圖像和進(jìn)行陰極熒光光譜分析等。
7、圖像質(zhì)量好。
可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像的質(zhì)量，如通過調(diào)制可改善圖像反差的寬容度，使圖像各部分亮暗適中。采取雙放大倍數(shù)裝置或圖像選擇器，可在熒光屏上同時觀察不同放大倍數(shù)的圖像或不同形式的圖像。
二、掃描電鏡的樣品制備
1、導(dǎo)電試樣：
樣品粉體可以直接撒在試樣座的雙面碳導(dǎo)電膠上，用表面平的物體，例如玻璃板壓緊，然后用洗耳球吹去粘結(jié)不牢固的顆粒。對細(xì)顆粒的粉體分析時，特別是對團(tuán)聚體粉體形貌觀察時，需將粉體用酒精或水在超聲波作用下分散，再用滴管把均勻混合的粉體滴在試樣座上，待液體烘干或自然干燥后，粉體靠表面吸附力即可粘附在試樣座上。
2、不導(dǎo)電試樣：
對不導(dǎo)電的試樣，例如陶瓷、巖石、玻璃、有機(jī)物等，在圖像觀察時，會產(chǎn)生放電、電子束漂移、表面熱損傷等現(xiàn)象，使圖像無法聚焦。為了使試樣表面導(dǎo)電，必須在試樣表面蒸鍍一層金或者碳等導(dǎo)電膜，鍍膜后應(yīng)立即分析，避免表面污染和導(dǎo)電膜脫落。一般形貌觀察時，蒸鍍小于10nm厚的金導(dǎo)電膜。金導(dǎo)電膜具有導(dǎo)電性好、二次電子發(fā)射率高、在空氣中不氧化、熔點(diǎn)低、膜厚易控制等優(yōu)點(diǎn)，可以拍攝到質(zhì)量好的照片。 |
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