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前端技術(shù)
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中科院與西電合作研發(fā)超高靈敏度氧化鋅雙納米片垂直壓電晶體管
來源:中國粉體技術(shù)網(wǎng)    更新時(shí)間:2017-05-05 10:39:27    瀏覽次數(shù):
 
  近日,中科院王中林院士和西安電子科技大學(xué)秦勇教授帶隊(duì)研究人員通過Zn(CHCOO與THAM合成ZnO雙納米片,通過射頻磁控濺射在SiO2/Si沉積了Cr/Au(5nm/60nm)層,然后在其上負(fù)載ZnO雙納米片,從而得到ZnO雙納米片壓電晶體管。此器件的壓電靈敏度可高達(dá)1448.08~1677.53meV/MPa,比先前報(bào)道的最高納米線基壓電晶體管高50倍左右,此外在紫外光輻射下,該器件的光電響應(yīng)率可達(dá)1.45×104A·W-1。
  
圖一 ZnO雙納米片的表征及性能測試
圖一 ZnO雙納米片的表征及性能測試
  
  (a-b)ZnO雙納米片的SEM圖像:(a)頂視圖,(b)側(cè)視圖,圖中的尺度大小為1mm;
  (c)不同射頻頻率下,ZnO單納米片與雙納米片壓電系數(shù)圖;
  (d)TNPT的結(jié)構(gòu)示意圖;
  (e)TNPT的能帶圖;
  (f)不同的壓力下,TNPT的電壓vs.電流關(guān)系圖;
  (g)反向偏置時(shí),TNPT的電壓-電流關(guān)系圖;
  (h)計(jì)算肖特基勢壘變化量隨壓力變化的關(guān)系曲線圖。

 
圖二TNPT的壓電性能測試
圖二TNPT的壓電性能測試
  
  (a)偏置電壓為-1.5時(shí),電流隨壓力的變化圖示;
  (b)電流對(duì)數(shù)值vs.外加壓力的實(shí)驗(yàn)值與擬合曲線;
  (c)壓電電流vs.間隔外加壓力關(guān)系曲線,器件表現(xiàn)出非凡的靈敏度和施加壓力與電導(dǎo)之間的調(diào)制關(guān)系;
  (d)在145s-165s時(shí)間段內(nèi),電流與負(fù)載壓力的相應(yīng)變化圖。

 
圖三 TNPT的三維有限元模擬計(jì)算
圖三 TNPT的三維有限元模擬計(jì)算
  
  (a)有限元模擬為0.001壓縮應(yīng)變下,傳統(tǒng)納米線/棒基壓電晶體管示意圖;
  (b)不同的外加應(yīng)力下,傳統(tǒng)納米線/棒基壓電晶體管電流壓vs.與電壓流曲線,插圖為施加外力前后,器件的能帶變化示意圖;
  (c)有限元模擬為0.001壓縮應(yīng)變下,TNPT結(jié)構(gòu)示意圖;
  (d)不同的負(fù)載壓力下,TNPT電流vs.電壓曲線圖,插圖為施加外力前后,ZnO雙納米片壓電晶體管的能帶變化示意圖。

 
圖四不同的外加應(yīng)力下,TNPT的光響應(yīng)性能測試
圖四不同的外加應(yīng)力下,TNPT的光響應(yīng)性能測試
  
  (a)恒定光照條件下,不同的壓力對(duì)應(yīng)的源-漏伏安特性;
  (b-c)TNPT的光敏性和光響應(yīng)性與施加壓力間的函數(shù)關(guān)系曲線;
  (d)紫外輻照下,TNPT的能帶圖譜,以及TNPT增強(qiáng)模式的工作機(jī)理,ΦB代表肖特基勢壘。
  
  研究人員通過成功制備ZnO雙納米片材料,然后將其負(fù)載在蒸鍍有Cr/Au層的SiO2/Si基片上,由于ZnO納米片獨(dú)特的鏡面對(duì)稱結(jié)構(gòu)及優(yōu)異的壓電性能,能夠有效地降低肖特基勢壘,直接將機(jī)械刺激轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號(hào)。測試結(jié)果顯示,此ZnO雙納米片壓電晶體管的壓電靈敏度可高達(dá)1448.08~1677.53meV/MPa,其性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于目前所報(bào)道的納米線/棒基壓電晶體管,其在諸多領(lǐng)域都有很好的發(fā)展光景。
  資料來源:材料?!?/span>


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