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一種制備復(fù)雜形狀多孔氮化硅陶瓷制品的方法
本發(fā)明涉及一種制備復(fù)雜形狀多孔氮化硅陶瓷制品的方法,首先將Si3N4粉、Si粉、燒結(jié)助劑,造孔劑、硅溶膠制備混合漿料。
[詳細(xì)]
一種制備復(fù)雜形狀多孔氮化硅陶瓷制品的方法
本發(fā)明涉及一種制備復(fù)雜形狀多孔氮化硅陶瓷制品的方法,首先將Si3N4粉、Si粉、燒結(jié)助劑,造孔劑、硅溶膠制備混合漿料。
[詳細(xì)]
一種制備梯度多孔氮化硅陶瓷材料的方法
本發(fā)明涉及一種制備梯度多孔氮化硅陶瓷材料的方法,所述方法包括:1)將氮化硅粉體、燒結(jié)助劑、粘結(jié)劑與水混合球磨,得到水基漿料;2)將水基漿料在50~90kPa的真空度下發(fā)泡并同時(shí)進(jìn)行冷凍凍結(jié),然后進(jìn)行冷凍干燥...
[詳細(xì)]
氮化硅溶液及其制備方法、多晶硅鑄錠用坩堝及其制備方法
本發(fā)明提供了一種氮化硅溶液及其制備方法。所述氮化硅溶液的制備方法,包括:將氮化硅粉末與去離子水混合,然后加入鹽酸,攪拌后得到氮化硅溶液。本發(fā)明還提供了多晶硅鑄錠用坩堝及其制備方法。所述多晶硅鑄錠用...
[詳細(xì)]
一種提高氮化硅層和氧化層刻蝕選擇比的方法
本發(fā)明公開了一種提高氮化硅層和氧化層刻蝕選擇比的方法,應(yīng)用于具有氮化硅層和氧化層的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的刻蝕工藝,且氮化硅層覆蓋于氧化層的上表面,方法包括:采用包含有添加劑的磷酸化學(xué)液對(duì)所述氮化硅層進(jìn)行刻蝕...
[詳細(xì)]
一種形成雙應(yīng)力層氮化硅薄膜的方法
本發(fā)明公開了一種形成雙應(yīng)力層氮化硅薄膜的方法,目的是提供一種形成雙應(yīng)力層氮化硅薄膜的方法。該方法,優(yōu)化了工藝,減小成本,同時(shí)能夠改善器件性能。
[詳細(xì)]
一種亞微米級(jí)單相氮化硅粉體的合成方法
發(fā)明人:鄭治祥,姜坤申請(qǐng)人:合肥工業(yè)大學(xué)申請(qǐng)?zhí)枺篊N201210045285.1 本發(fā)明公開了一種亞微米級(jí)單相氮化硅粉體的合成方法,是以水玻璃為硅源,常溫下將氯化銨溶液攪拌加入水玻璃溶液中制備得到硅酸凝膠,向硅酸...
[詳細(xì)]
硅粉在中溫微正壓條件下氮化合成氮化硅粉體的方法
發(fā)明人:李江濤,楊建輝,楊增朝,韓林森,王福,陳義祥申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所申請(qǐng)?zhí)枺篊N201110296695.9 本發(fā)明屬于非氧化物氮化硅陶瓷粉體的制備,涉及在中溫微正壓條件下,以溫度場(chǎng)誘發(fā)硅粉燃燒方...
[詳細(xì)]
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